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YP-150I YP-250I鹵素燈光源裝置YAMADA山田光學

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YP-150I對應檢查6寸半導體晶片

YP-250I可對應檢查8英寸半導體晶片

根據具體要求可以選擇黃光和白光兩種光源 可檢測各種缺陷 如硅片 砷化鎵 碳化硅

等半導體晶片及液晶基板表面的異物 劃痕 拋光不均 霧狀 劃傷等 照度在400000Lx以上

YP-250I鹵素燈通風機可選擇螺旋式風扇或者管道通風型

YP-150I照度范圍φ30

YP-250I照度范圍φ60

用于Si薄片，玻璃表面的瑕疵檢查的照明光源，微小瑕疵也可被檢測出來